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一般三坐標校準保養過程主要包括以下幾部分：

1、檢查電腦和有關備份文件；

2、清理三坐標導軌；

3、檢查外罩；

4、檢查所有的氣路系統，更換老化的氣管；

5、檢查氣體過濾機構，并對之進行基本保養和維護；

6、檢查z軸安全保護裝置，檢查氣動平衡機構；

7、檢查和清洗氣浮軸承；

8、檢查調整電氣和機械行程開關；

9、檢查和調整傳動機構，并做常規保養；

10、檢查和調整測量機水平；

11、檢查和調整三坐標橫梁與xY工作平面的平行；

12、最好用激光干涉儀檢測和補償測量機各軸誤差。

（來源：測量俱樂部）